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                                電容式壓力傳感器的兩種不同類型

                                    壓力傳感器有多種類型,電容式壓力傳感器是其中的一種。電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器,應用于多個領域。單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器是電容式壓力傳感器的兩種不同類型。

                                    單電容式壓力傳感器是由圓形薄膜與固定電極構成。薄膜在壓力的作用下變形,從而改變電容器的容量,其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比。另一種型式的固定電極取凹形球面狀,膜片為周邊固定的張緊平面,膜片可用塑料鍍金屬層的方法制成。這種型式適于測量低壓,并有較高過載能力。還可以采用帶活塞動極膜片制成測量高壓的單電容式壓力傳感器。這種型式可減小膜片的直接受壓面積,以便采用較薄的膜片提高靈敏度。它還與各種補償和保護部以及放大電路整體封裝在一起,以便提高抗干擾能力。這種傳感器適于測量動態高壓和對飛行器進行遙測。單電容式壓力傳感器還有傳聲器式(即話筒式)和聽診器式等型式。

                                    差動電容式壓力傳感器的受壓膜片電極位于兩個固定電極之間,構成兩個電容器。在壓力的作用下一個電容器的容量增大而另一個則相應減小,測量結果由差動式電路輸出。它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。過載時膜片受到凹面的保護而不致破裂。差動電容式壓力傳感器比單電容式的靈敏度高、線性度好,但加工較困難(特別是難以保證對稱性),而且不能實現對被測氣體或液體的隔離,因此不宜于工作在有腐蝕性或雜質的流體中。

                                   壓力傳感器是陶瓷電容式壓力傳感器,集成了厚膜、薄膜、低溫共燒等多種生產工藝。陶瓷電容式壓力傳感器因為沒有液體的傳遞,過程壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,襯底電極與膜片電極之間的電容量變化與壓力大小成比例關系,電容的初始值經激光微調趨于一致,過載時膜片貼到陶瓷襯底上而不會損壞。


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